在石墨烯、碳納米管、鈣鈦礦、MAX相等先進功能材料的CVD制備中，溫度均勻性、氣氛純凈度、升降溫靈活性是成敗關(guān)鍵。藍景科技陶瓷纖維管式馬弗爐專為CVD工藝優(yōu)化，提供高純石英/陶瓷管+多路氣氛系統(tǒng)+真空兼容的一站式解決方案。

工藝適配能力：
?? 可選高純氣煉石英管或剛玉陶瓷管，耐高溫、抗腐蝕，避免金屬污染；
?? 標配/選配多路混氣系統(tǒng)（質(zhì)量流量計精度±1%），精準控制Ar/H?/N?/C?H?等氣體比例；
?? 可連接真空泵+數(shù)顯真空計，實現(xiàn)10?1 Pa-級真空環(huán)境，滿足高純材料生長需求；
?? 輕質(zhì)陶瓷纖維蓄熱低，降溫速率快，縮短批次間隔，提升設(shè)備利用率。

某新材料企業(yè)利用該設(shè)備開發(fā)高導(dǎo)熱氮化硼薄膜，通過兩溫區(qū)控溫實現(xiàn)前驅(qū)體裂解與沉積分離，產(chǎn)品熱導(dǎo)率達600 W/m·K，成功應(yīng)用于5G芯片散熱。
藍景科技陶瓷纖維管式馬弗爐，為新材料研發(fā)按下“加速鍵"。